高純氣體中央供氣系統(tǒng)安裝
高純氣體(High Purity Gases)，通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純度的氣體。對(duì)于不同類別的氣體，純度指標(biāo)不同，例如對(duì)于氮，氫，氬，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對(duì)于氧氣，純度為99.99%即可稱高純氧；對(duì)于碳?xì)浠衔?，純度?9.99%的即可認(rèn)為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬，在半導(dǎo)體工業(yè)，高純氮、氫、氬、氦可作為運(yùn)載氣和保護(hù)氣；高純氣體可作為配制混合氣的底氣。
高純氣體中央供氣系統(tǒng)是專為高精度分析測(cè)試設(shè)備所用高純工作氣體的傳輸而設(shè)計(jì)，系統(tǒng)需要為分析設(shè)備提供壓力、流量穩(wěn)定且經(jīng)過長(zhǎng)距離傳輸后純度不變的高純氣體以滿足各種高精度分析設(shè)備的使用要求。系統(tǒng)同時(shí)還應(yīng)該滿足安全性的要求，并方便客戶的日常使用及管理
實(shí)驗(yàn)室氣體管路工程主要材質(zhì)為不銹鋼電解無縫鋼管，所有氣體管路的連接采用無縫焊接方式，管路 安裝在天花板下方，沿著墻壁來進(jìn)行布局，便于檢查和維修，實(shí)驗(yàn)室氣體管道工程采用集中供氣有以下優(yōu)點(diǎn):1.保持氣體純度：氣瓶均配有沖洗閥，以排除每次更換氣瓶時(shí)引入的雜質(zhì)，確保了管路終端氣體的純度。
1． 由于存放的氣體由于有可燃性氣體和助燃?xì)怏w，按國(guó)家規(guī)定必須分庫(kù)存放。分別放 入不同的氣瓶間內(nèi)。
2． 氣瓶間內(nèi)設(shè)立一次調(diào)壓面板。
3． 壓力調(diào)節(jié)器入口前需加裝燒結(jié)金屬過濾器以防止顆粒等雜質(zhì)污染系統(tǒng)。
4． 所有面板均配備吹掃閥，可實(shí)現(xiàn)對(duì)面板的清洗置換。
5． 壓力調(diào)節(jié)器及相關(guān)管件均需牢固的固定在壓力調(diào)節(jié)面板上，面板應(yīng)設(shè)計(jì)的緊湊而合 理，以盡量減少系統(tǒng)中的死體積。
6． 壓力調(diào)節(jié)面板應(yīng)采用全不銹鋼材料制成，并且牢固的固定在可靠的位置上，確保其 安全性。
7． 氣瓶間內(nèi)存放的氣瓶采用帶防倒鏈的氣瓶支架固定，氣瓶支架堅(jiān)固耐用、美觀大方。 氣瓶支架采用鋁合金制作而成。
8． 氣瓶間內(nèi)的氣體鋼瓶與壓力調(diào)節(jié)器之間采用SS 316L高壓金屬軟管連接無滲透。 高壓軟管為柔性軟管，以保證連接的方便性。
9． 高壓軟管上的鋼瓶接頭必需與鋼瓶角閥的規(guī)格相匹配，以確保連接的可靠性。
10． 排空氣路應(yīng)分類收集、固定牢固并排放至室外安全地點(diǎn)。
高純氣體中央供氣系統(tǒng)是專為高精度分析測(cè)試設(shè)備所用高純工作氣體的傳輸而設(shè)計(jì)，系統(tǒng)需要為分析設(shè)備提供壓力、流量穩(wěn)定且經(jīng)過長(zhǎng)距離傳輸后純度不變的高純氣體以滿足各種高精度分析設(shè)備的使用要求。系統(tǒng)同時(shí)還應(yīng)該滿足安全性的要求，并方便客戶的日常使用及管理。
高純氣配管技術(shù)是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分，是能否將合符要求的高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵技術(shù)；所謂高純氣配管技術(shù)包括系統(tǒng)的正確設(shè)計(jì)、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗(yàn)測(cè)試等內(nèi)容。近年來以大規(guī)模集成電路為代表的微電子產(chǎn)品生產(chǎn)對(duì)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的日益嚴(yán)格的要求，使高純氣體的配管技術(shù)日益受到關(guān)注和重視。以下針對(duì)高純氣體輸送從選材到施工以及驗(yàn)收、日常管理作個(gè)簡(jiǎn)單的概述。
高純氣體中央供氣系統(tǒng)安裝
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