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實(shí)驗(yàn)室高純氣體管道工程系統(tǒng)

　　高純氣配管技術(shù)是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分，是能否將合符要求的高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵技術(shù)；所謂高純氣配管技術(shù)包括系統(tǒng)的正確設(shè)計(jì)、管件及附件的選擇、施工安裝和 試驗(yàn)測(cè)試等內(nèi)容。

　　常見(jiàn)氣體的種類(lèi)電子行業(yè)中常見(jiàn)氣體的分類(lèi)：普通氣體，也稱(chēng)大宗氣體（Bulk gas ）：氫氣（H2）、氮?dú)猓∟2）、氧氣（O2）、氬氣（A2）等。特種氣體（Specialty gas ）主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等特殊氣體的種類(lèi)一般可分為腐蝕性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等，一般常用的半導(dǎo)體氣體分類(lèi)如下：

　　一)、腐蝕性 / 毒性：HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等

　　二)、可燃性：H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等

　　三)、助燃性：O2、Cl2、N2O、NF3…等

　　四)、惰性：N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等 半導(dǎo)體氣體很多是對(duì)人體有害。

　　特別是其中有些氣體如SiH4的自燃性，只要一泄漏就會(huì)與空氣中的氧氣起劇烈反應(yīng)，開(kāi)始燃燒；還有AsH3的劇毒性，任何些微的泄漏都可能造成 人員生命的危害，也就是因?yàn)檫@些顯而易見(jiàn)的危險(xiǎn)，所以對(duì)于系統(tǒng)設(shè)計(jì)的要求就特別高。

　　實(shí)驗(yàn)室高純氣體管道工程系統(tǒng)